對凈化無塵車間市場和技術的一個誤解是關于過濾效率。對納米粒子的過濾效率很低
對凈化無塵車間市場和技術的一個誤解是關于過濾效率。對納米粒子的過濾效率很低
通常HEPA過濾器被認為對0.3微米以上或以下的微粒的過濾效率。也就是說,對直徑在0.3微米的微粒的過濾效率。這是因為,根據(jù)布朗運動的原理,直徑在0.2微米的粒子更容易與過濾器表面發(fā)生碰撞。
從邏輯上來講,微粒的直徑越接近于0,其形態(tài)特征越接近于氣體,也就更容易通過過濾網(wǎng)。但是,只有極少的實驗對HEPA或ULPA過濾器對小納米粒子的作用進行了研究。在測定過濾器的效率時,首先碰到的問題是要找到一種正確的方法。至少在開始的時候已經(jīng)在化學藥方面取得了一定的進步,找到了一種可以使微粒分解到原子水平的方法,總的說來,在這一水平,粒子有足夠的表面積可以用質(zhì)譜儀進行測量。
到底能捕獲多少這種超細納米粒子,對于納米行業(yè)的成敗至關重要。一個方法是選用納米過濾器作為過濾介質(zhì),另一種可能的方法是選用活性炭。
現(xiàn)在,我們更關注凈化無塵車間中納米技術的應用??赡軙罅慨a(chǎn)生直徑只有幾納米的粒子——0.2微米的粒子的直徑是200納米。在決定對凈化無塵車間進行清潔時,我們通常考慮的粒子直徑是0.1微米,即直徑是100納米或者更大。如此,我們可以得到一間1級標準的凈化無塵車間,里面的粒子都在90納米以下。
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